OEM  PARTS   LIST
ƒAƒ‹Š”Ž®‰ïŽÐ
OEM–¼F @EBARA 
# P/N OEM DISCRIPTION
1 1623K3  EBARA  STARTER, FLUORESCENT 4,6,8W 
2 600W-ETC04-PWM-20M  EBARA  TURBO-MOLECULAR PUMP CONTROLLER ET600W 
3 8288A53  EBARA  BLADES, 
4 A-1500-090-0001  EBARA  WAFER CHUCK ASSY 
5 A-1500-738-0001  EBARA  HEAD, SPONGE 
6 AET08-4390  EBARA  TURBO CONTROLLER 
7 C-1002-010-0001  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCK 
8 C-1012-038-0001  EBARA  BOLT, SP 
9 C-1016-005-0001  EBARA  BOLT, WING 
10 C-1016-007-0001  EBARA  BOLT, WING 
11 C-1039-038-0001  EBARA  WASHER, B 
12 C-1039-039-0001  EBARA  WASHERER, C 
13 C-1045-042-0001  EBARA  STRAIGHT,PIN 
14 C-1100-015-0001  EBARA  SHAFT 
15 C-1100-016-0001  EBARA  SHAFT 
16 C-1100-017-0001  EBARA  SHAFT 
17 C-1124-022-0001  EBARA  OBSOLETE - BEARING, BALL DEEP GROOVE 
18 C-1200-001-0001  EBARA  SPRING, 
19 C-1212-036-0001  EBARA  SEAL, OIL ROTARY JOINT 
20 C-1216-025-0001  EBARA  PACKING, 1 
21 C-1218-018-0001  EBARA  SEAL ASSY 
22 C-1320-001-0001  EBARA  JOINT BUSH 
23 C-1356-002-0001  EBARA  ROLLER FOLLOWER 
24 C-1385-014-0001  EBARA  ROLLER, 
25 C-2110-704-0001  EBARA  CONNECTOR, 
26 C-2230-138-0001  EBARA  VALVE, MANIFOLD SOLENOID L(3) 
27 C-2230-139-0001  EBARA  VALVE, MANIFOLD SOLENOID R(3) 
28 C-3102-121-0001  EBARA  GUIDE, TOP RING 
29 C-3115-007-0001  EBARA  PLUG, QUICK CONNECT 
30 C-3115-010-0001  EBARA  COLLAR, 
31 C-3127-043-0001  EBARA  CAP, 
32 C-3532-022-0001  EBARA  DRIVING FLANGE 
33 C-3532-211-0001  EBARA  DRIVE FLANGE 
34 C-3532-395-0001  EBARA  SEAL FLANGE 
35 C-4008-082-0001  EBARA  MICRO,PUMP 
36 C-4110-065-0001  EBARA  RING, GUIDE 
37 C-4110-930-0011  EBARA  CONNECTOR MOUNT E 
38 C-4110-960-0001  EBARA  INSERT, RUBBER (B) 
39 C-4110-962-0001  EBARA  DIAPHRAGM, PRIMARY -3 
40 C-5114-054-0001  EBARA  PRESSURE CONTROLLER 
41 C-5131-003-0001  EBARA  SENSOR, PHOTO MICRO 
42 C-5131-005-0001  EBARA  SENSOR,PHOTOMICRO 
43 C-5131-006-0001  EBARA  SENSOR, PHOTOMICRO 
44 C-5144-037-0001  EBARA  BATTERY (PWM4F-T) 
45 C-5146-028-0001  EBARA  UPS, VME POWER PROTECTION 
46 C-5404-048-0001  EBARA  REFERENCE(CV),ELECTRODE 
47 C-5404-049-0001  EBARA  PT,ROTARY,ELECTRODE,(CELL2) 
48 C-5404-051-0001  EBARA  AG,ELECTRODE, CELL2 
49 C-5404-052-0001  EBARA  REFERENCE,ELECTRODE, CELL2 
50 C-5404-052-0001  EBARA  REFERENCE,ELECTRODE, CELL2 
51 C-8812-043-0001  EBARA  CERAMIC RING, TOP 
52 C-8812-053-0001  EBARA  VALVE BOX COVER(L) 
53 C-8925-042-0001  EBARA  RING, 12A1, GUIDE RING 
54 CEP011-CFA1060  EBARA  Liner Bush(EPO-222 Turn Over) 
55 CEP022-CFC1290  EBARA  PLAINT TUBE 
56 CEP023-DEB1030  EBARA  OBSOLETE - BUTTON, 
57 CEP02H-CTC0010  EBARA  ROBOT (L,R) HAND 
58 CEP02H-CTC0010  EBARA  ROBOT (L,R) HAND 
59 CEP099-AEL1400  EBARA  SERVO, BATTERY MITY 
60 CEPO11-BDB0160  EBARA  PIN PUSHER HOUSING 
61 CEPO11-BLC1121  EBARA  JOINT ROTARY TOP RING V7-4 
62 CEPO11-BMA0030  EBARA  DIAMOND PLATE FLANGE 
63 CEPO11-BMA0090  EBARA  DRIVE FLANGE 
64 CEPO11-BMB1050  EBARA  BEARING DRESSER MULTI SHAFT 
65 CEPO11-BPL1250  EBARA  DIGITAL PRESSURE MONITOR 
66 CEPO11-CKD1010  EBARA  BEARING, SLEEVE 
67 CEPO11-DA20010  EBARA  HOUSING, 
68 CEPO11-DA20020  EBARA  PLUNGER, 
69 CEPO11-DA20030  EBARA  PIN, STRAIGHT 
70 CEPO11-DCK0090  EBARA  BOLT, HINGE 
71 CEPO11-DDK0020  EBARA  PULLEY 
72 CEPO11-DDK0540  EBARA  NUT 
73 CEPO11-DH01550  EBARA  CONNECTOR WITH CABLE 
74 CEPO11-DK10530  EBARA  PHOTO, MICRO 
75 CEPO11-DR10520  EBARA  AMPLIFIER KEYENCE PS2-61 
76 CEPO11-GFK0010  EBARA  WHEEL 
77 CEPO11-GFK0101  EBARA  PIN, TORSION A 
78 CEPO11-GFK0111  EBARA  PIN, TORSION B 
79 CEPO11-GFL0050  EBARA  UNCLAMP RING 
80 CEPO11-GG10150  EBARA  PULLEY, (2) EPO-222 
81 CEPO11-GM20570  EBARA  BEARING 
82 CEPO22-BE30010  EBARA  MOTOR DRIVER ( MITY VEA-04 ) 
83 CEPO22-BHC1650  EBARA  DIGITAL PRESSURE MONITOR 
84 CEPO22-BHF1070  EBARA  WASHER, DOOR SCREW 
85 CEPO22-BLP1080  EBARA  O-RING, 
86 CEPO22-BMB1020  EBARA  PLATE CYLINDER 
87 CEPO22-BPX4090  EBARA  PLUNGER, BALL 
88 CEPO22-CDA0110  EBARA  SLIDE BAR C-3500-001-0001 
89 CEPO22-CEEE0090-3  EBARA  HDD FRONT PANEL 
90 CEPO22-CFD0080  EBARA  METAL STANDOFF DRY T/O CHUCKIN 
91 CEPO22-CFK1030  EBARA  SCREW, 
92 CEPO22-CKF1041  EBARA  WASHER, 
93 CEPO22-CTC0050  EBARA  HAND(VACUUM)FOR ROBOT1 
94 CEPO22-CTC0060  EBARA  HAND(WET)FOR ROBOT1 
95 CEPO22-CTC5050  EBARA  HAND(UPPER)FOR ROBOT2 
96 CEPO22-DD1C512  EBARA  ANGULAR BEARING 7900 
97 CEPO22-DDA0010  EBARA  HOUSING 
98 CEPO22-DEB1020  EBARA  OBSOLETE - HOUSING, 
99 CEPO22-DR10340  EBARA  WASHER, 
100 CEPO22-DS1G540  EBARA  VORTEX FLOW METER ASSY(2) SLK-0532TXQ7 
101 CEPO22-DT10010  EBARA  OBSOLETE - ROLLER, 
102 CEPO22-DT10010  EBARA  OBSOLETE - ROLLER, 
103 CEPO22-KT1C010  EBARA  RETAINER(L-SIDE) 
104 CEPO22-KT1D010  EBARA  RETAINER(R-SIDE) 
105 CEPO22-YAR0361  EBARA  RING 5F 
106 CEPO22-YAR0442  EBARA  GUIDE RING 
107 CEPOB1-BSH0306  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HEAD CAP 
108 CEPOB1-BSH0406  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HEAD CAP 
109 CEPOB1-BSH0408  EBARA  SCREW, HEX SCKT HD CAP SS 
110 CEPOB1-BSH0410  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HD CAP 
111 CEPOB1-BSH0412  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HEAD CAP 
112 CEPOB1-BSH0416  EBARA  SCREW, 8-32X5/8 SCKT HD CAP SS 
113 CEPOB1-BSH0425  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HD 
114 CEPOB1-BSH0516  EBARA  HEXAGON SOCKET SET 
115 CEPOB1-BSH0530  EBARA  HEXAGON SOCKET SET 
116 CEPOB1-BSH0550  EBARA  LINK, MASTER 
117 CEPOB1-BSHC308  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HEAD CAP 
118 CEPOB1-CSM0403  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET SET 
119 CEPOB1-FMT0616  EBARA  BOLT, HEXAGON 
120 CEPOB1-LA04025  EBARA  SCREW, LAM 3X6,304SS 
121 CEPOB1-LACM310  EBARA  SCREW, CROSS RECESSED PAN HEAD 
122 CEPOB1-LACM416  EBARA  SCREW, COATED 
123 CEPOB1-LAH0408  EBARA  BOLT, HEX SOCKET BUTTON 
124 CEPOB1-LAHC306  EBARA  BOLT, HEX SOCKET BUTTON 
125 CEPOB1-LB03012  EBARA  SCREW, FLAT HEAD LB-M3X12 
126 CEPOB1-LB06012  EBARA  SCREW, CROSSED RECESSED HD 
127 CEPOB1-TRS3010  EBARA  SCREW, TRUSS HEAD 
128 CEPOB1-ZRM0300  EBARA  WASHER, SPRING M3 3 
129 CEPOC1-00S060N  EBARA  O-RING, S6 
130 CEPOC1-00S150N  EBARA  O-RING, S 15 
131 CEPOC3-00G65N  EBARA  JOINT, ROTARY TURN 
132 CEPOEW-EEP0020  EBARA  RECEPTABLE, 2 PIN ELR-02V 
133 CEPOEW-EEP0030  EBARA  RECEPTABLE, 3 PIN ELR-03V 
134 CEPOEW-EEP0040  EBARA  RECEPTABLE, 4 PIN ELR-04V 
135 CEPOEW-EEP0050  EBARA  RECEPTABLE, 6 PIN ELR-06V 
136 CEPOEW-EEP0060  EBARA  RECEPTABLE, 9 PIN ELR-09V 
137 CEPOEW-EEP0070  EBARA  PLUG, 2 PIN ELP-02V 
138 CEPOEW-EEP0080  EBARA  PLUG, 3 PIN ELP-03V 
139 CEPOEW-EEP0090  EBARA  PLUG, 4 PIN ELP-04V 
140 CEPOEW-EEP0100  EBARA  PLUG, 6 PIN ELP-06V 
141 CEPOEW-EEP0110  EBARA  PLUG, 9 PIN ELP-09V 
142 CEPOEW-EEP0130  EBARA  PIN, MALE RECEPTABLE 
143 CEPOEW-EEP0140  EBARA  PIN, MALE RECEPTABLE 
144 CEPOEW-EEP0150  EBARA  PIN, FEMALE 1.13 
145 CEPOEW-EEP0160  EBARA  PIN, FEMALE 0.5 
146 CEPOEW-EEP0170  EBARA  PIN, FEMALE AWG20 +20 
147 CEPOFL-26REA6H  EBARA  ADAPTER, REDUCTING ELBOW 
148 CEPOK1-KYR3310  EBARA  KEY, 
149 CEPOK1-KYR3310  EBARA  KEY, 
150 CEPOK1-KYR4410  EBARA  Straight Key 4x4x10 
151 CEPOK1-KYR4425  EBARA  Straight Key 4x4x25 
152 CEPONM-EL06R40  EBARA  ELBOW, 90 DEGREE EL 
153 CEPONM-ETC06R4  EBARA  CONNECTOR, ETC 6 
154 CEPONM-EUL0600  EBARA  ELBOW, UNION 
155 CEPOP2-BPH8322  EBARA  PIN, PARALLEL 
156 CEPOP2-BPH8408  EBARA  PIN, PARALLEL 
157 CEPOP2-BPH8410  EBARA  PIN, PARALLEL 
158 CEPOPL-BLC1120  EBARA  JOINT, ROTARY 
159 CEPOSM-KGR0408  EBARA  REDUCER, 300MM 
160 CEPOSM-KQL0401  EBARA  OBSOLETE - UNION, ELBOW 
161 CEPOTR-0010030  EBARA  COLLAR 
162 CEPOTR-0010080  EBARA  WASHERER, B 
163 CEPOTR-0010100  EBARA  CERAMIC BALL 5/8 
164 COZW03-CS301  EBARA  CONTROLLER 
165 COZW03-NTF500  EBARA  FLOWMETER CO0WSG-NTF0500 
166 COZWMF-01XO  EBARA  FILTER, MF 
167 COZWSG-M42700  EBARA  VALVE, MV-1 O3 PRESSURE ADJUST 
168 CSPOB1-BSH0550  EBARA  SCREW, HEXAGON SOCKET HEAD CAP 
169 CTPL-DS0010  EBARA  PRESSURE SENSORS 
170 ET300WS  EBARA  TURBO MOLECULAR PUMP 
171 ET600W  EBARA  TURBO MOLECULAR PUMP CONTROLLER 
172 ET600WS  EBARA  TURBO MOLECULAR PUMP 
173 ET600WS-TP  EBARA  TURBO MOLECULAR PUMP 
174 KSL06-02S  EBARA  FITTING, ROTARY FOR 
175 KSL06-2S  EBARA  FITTING, ROTARY FOR 
176 PWM-15M  EBARA  ET600W CONTROLLER CABLE 15 M 
177 TK6-16  EBARA  BEARING, MINIATURE 
178 TKSER-20FV  EBARA  SCRAPER, SER TYPE EBARA