OEM  PARTS   LIST
A
OEMF @GASONICS 
# P/N OEM DISCRIPTION
1 01-0148-01  GASONICS  PLATE INSULATOR 
2 01-0164-01  GASONICS  ROLLER HARD 
3 01-0190-01  GASONICS  LOCK CAM 
4 01-0197-01  GASONICS  ROLLER CORE 
5 01-0697  GASONICS  LOWER CHAMBER 
6 01-2833  GASONICS  BRACKET, HINGE 
7 01-2845  GASONICS  PIN BEARING 
8 4598 GASONICS  CHAMBER BRANSON 
9 4625 GASONICS  BAFFLE PAD TEFLON 
10 05-2733  GASONICS  CAP GAS FEED WELDMENT 
11 13967-01  GASONICS  WINDOW, BOTTOM QUARTZ 
12 13970-01  GASONICS  CHIMNEY, IND T 
13 14453-01  GASONICS  BRACKET, GROUN 
14 14679-01  GASONICS  PCB, CRT CONTR 
15 14738-01  GASONICS  QUARTZ BUBBLER 
16 15367-01  GASONICS  PIN-LIFT QUARTZ 
17 15368-01  GASONICS  PIN-HOLDER 
18 15392-01  GASONICS  SWITCH, TOGGLE-MOM 
19 16206-01  GASONICS  LIFT CHAMBER 
20 16209-01  GASONICS  INSULATOR-STUD 
21 16321-01  GASONICS  DRIVE, FLOPPY 3-1/2 MOD 
22 16498-01  GASONICS  BRANSON/IPC, DISPLAY DRIVER 
23 16498-01  GASONICS  BRANSON/IPC, DISPLAY DRIVER 
24 16532-01  GASONICS  PLATE-QUARTZ LAMP 
25 16785-01  GASONICS  FITTING-ULTRA TORR BODY 
26 17-5024-01  GASONICS  BUSHING 
27 17371-01  GASONICS  GUIDE WAVE 950 WATTS 
28 18-0233-01  GASONICS  SCREW 
29 18-0273-42  GASONICS  SCREWS 
30 22-2671  GASONICS  SOLENOID LIQUID BLEED 
31 22-2715  GASONICS  VALVE APTECH AP35505 2PW FV4 FV4 
32 310-2301  GASONICS  SWT, RF COAXIA 
33 38-0054-01  GASONICS  BREAKER CIRCUT 25AMP 
34 38-0099-01  GASONICS  SWITCH, INTERLOCK 
35 60-171792-00  GASONICS  YASKAWA INT VACUUM LINE 
36 73014-01  GASONICS  FLOW CONTROLLER CYLINDER 
37 73185-39  GASONICS  BREAKER, 277VAC 1A 
38 73325-02  GASONICS  LAMP-HALOGEN 120V 1000W 
39 73494-01  GASONICS  PCB-LAMP CONTROL ASSY 
40 73797-05  GASONICS  PWB ASSY SCR CONTROL 
41 9-116SS592  GASONICS  O-RING, CHEMRAZ (PEP3510AA) 
42 90-0020-01  GASONICS  PEN-RAY LAMP 
43 90-1001-01  GASONICS  PC BOARD ALARM HIPOX 
44 90-1002-01  GASONICS  VALVE CONT. ASSY 
45 90-1002-07  GASONICS  PC BOARD VALVE CONTROL 
46 90-1025-04  GASONICS  PCB ASSY 
47 90-1028-01  GASONICS  PCB ASSY 
48 90-2570  GASONICS  PCB, CPU, 8" 
49 90-2607  GASONICS  PCB CONTROLLER BOARD 
50 90-27004  GASONICS  HEAT SOLUTION 
51 90-27010  GASONICS  HEAT SOLUTION 
52 90103302 GASONICS  PC BOARD ABORT/RESET 
53 90104801 GASONICS  PC BOARD POWER CNTL 
54 92-0009  GASONICS  ELBOW-XDUCER 1/2 SS 
55 93-0013-01  GASONICS  SCREW SHOULDER (MOD) 
56 94-1115-102  GASONICS  TI TARGET 
57 94-1119  GASONICS  LOCK,LIFT,LOAD,24V 
58 94-1174  GASONICS  LOADER RECEIVE ELEVATOR 
59 94-1179  GASONICS  KIT SENSOR 
60 95-0289  GASONICS  PCB CONTROLLER 
61 95-0292  GASONICS  POWER SUPPLY 
62 95-0462  GASONICS  POSITIONER WAFER 
63 95-0541  GASONICS  MINI CONTROLLER 
64 95-16511  GASONICS  MINIMATIC, SENSOR 
65 95-2778  GASONICS  CONTACTOR PLATE 
66 95-3153  GASONICS  GAS BOX CONTROLLER 
67 95-3154  GASONICS  MICROWAVE GENERATOR CONTROLLER 
68 95-3157  GASONICS  MINI CONTROLLER 
69 95-4186  GASONICS  POWER SUPPLY 
70 96-3041  GASONICS  PLASMA DETECT TUBE 
71 A01-012-01  GASONICS  CHAMBER BOTTOM AURA 1000 
72 A01-082-01  GASONICS  BRACKET 
73 A01-094-01  GASONICS  NUT LOCKING TUNING SLUG 
74 A01-330-01  GASONICS  RING,WINDOW 
75 A01-330-01  GASONICS  RING,WINDOW 
76 A01-332-01  GASONICS  STRAP, WINDOW 
77 A01-363-01  GASONICS  BLOCK, FERROFLUDIC, 8" 
78 A01-446-01  GASONICS  LIFT, SPOOL, POSITION 
79 A02-008-01  GASONICS  STRAP WINDOW 
80 A02-064-01  GASONICS  FLAG, ARM ASSY 
81 A02-082-01  GASONICS  BRACKET FRONT SUPPORT WAFER 
82 A02-083-01  GASONICS  BRACKET WAFER SUPPORT 
83 A02-084-02  GASONICS  ARM SUPPORT REAR WAFER 
84 A02-104-01  GASONICS  SHIELD, HIGH VOLTAGE 
85 A02-328-01  GASONICS  COVER,CAM FOLLOWER, RIGHT 
86 A02-328-02  GASONICS  COVER,CAM FOLLOWER,LEFT 
87 A05-008-01  GASONICS  SUPPORT WAFER 
88 A05-020-02  GASONICS  ADAPTER PLASMA TUBE 
89 A05-036-01  GASONICS  SHIELD PREFIRE 
90 A06-014-01  GASONICS  NOZZLE SHOWEHEAD 
91 A06-300-01  GASONICS  QTZ. WINDOW W/HOLE 
92 A09-004-01  GASONICS  REFLECTOR, LAMP TRAY 
93 A17-001-01  GASONICS  SPRING COMPRESSION SST 
94 A17-028-01  GASONICS  ABSORBER SHOCK ARMS 
95 A20-028-01  GASONICS  REDUCER FOR NW40 TO NW50 VALVE 
96 A38-026-01  GASONICS  BREAKER CIRCUIT AMPS 30 277VAC. MAX. 50/60HZ CURVE 10 
97 A38-034-01  GASONICS  BREAKER,1 POLE,10A,277VAC 
98 A38-045-01  GASONICS  CONTACTER 18A 600V (OLD A38-018-01) 
99 A39-001-01  GASONICS  LAMP, 1000W, 120VAC OUTER 
100 A39-1485  GASONICS  OUTPUT PCB FOR PARALLEL SERIAL UNIT 
101 A39-1486  GASONICS  INPUT PCB FOR PARALIC SERIAL UNIT 
102 A78-014-01  GASONICS  O-RING, SILICONE EOP, OUTER 
103 A78-021-01  GASONICS  O-RING, ULTRA, TORR 
104 A78-024-01  GASONICS  O-RING CONDUCTIVE 
105 A78-094-01  GASONICS  O-RING, CHEMRAZ, SS VALVE 
106 A89-014-01  GASONICS  DECODER PCB 
107 A89-014-01  GASONICS  DECODER PCB 
108 A90-002-01  GASONICS  PCB, VACUUM GAUGE AMP 
109 A90-013-01  GASONICS  PCA LED INTERFACE 
110 A90-014-02  GASONICS  PCB, AE DISPLAY DE CODER 
111 A90-024-02  GASONICS  PCB, SCR, CONTROL 
112 A90-024-02  GASONICS  PCB, SCR, CONTROL 
113 A90-028-01  GASONICS  PCB INTERFACE 
114 A90-029-01  GASONICS  PCB, LIFT BOARD 
115 A90-029-03  GASONICS  PCB LL LIFT LOGIC 8'' 
116 A90-029-03  GASONICS  PCB LL LIFT LOGIC 8'' 
117 A90-039-01  GASONICS  PCB, SENSOR, CURRENT, LAMP 
118 A90-042-01  GASONICS  CONTROLLER PCA 
119 A93-021-05  GASONICS  ASSY, WAVEGUIDE 
120 A93-999-83  GASONICS  NIPPLE 
121 A94-006-01  GASONICS  CABLE,RIBBON,J5 
122 A94-007-002  GASONICS  CABLE 
123 A94-032-02  GASONICS  PCB ASSY 
124 A94-062-01  GASONICS  ARM THETA ASSY 
125 A94-064-01  GASONICS  ARM 
126 A95-005-01  GASONICS  CONTROLLER BOARD 
127 A95-006-01  GASONICS  ENDPOINT,ASSEMBLY 
128 A95-027-01  GASONICS  PRE FIRE AURA 
129 A95-045-01  GASONICS  MAGNETRON,ASSY 
130 A95-062-01  GASONICS  ARM II,ASSY,W/PCA 
131 A95-075-01  GASONICS  ELEVATOR PROCESS CHAMBER 
132 A95-104-01  GASONICS  LIFT, 8" 
133 A95-104-03  GASONICS  ELEVATOR, TYPE 16-08-13B 
134 A95-121-01  GASONICS  ASSY, LOADLK,DOOR, INTERNAL 
135 A95-130-01  GASONICS  GAUGE, ASSY, LL, 8" 
136 A95-130-01  GASONICS  GAUGE, ASSY, LL, 8" 
137 A95-171-01  GASONICS  ASSY KWIK FLANGED LCK 
138 A96-018-01  GASONICS  ASM CABLE HV 60HZ AURA 1000 
139 A96-094-01  GASONICS  ASSY, CABLE, U, CPU 
140 A96-113-01  GASONICS  HARNESS, WIRE 
141 A97-034-01  GASONICS  KIT MICROWAVE TUNING ROD 
142 A97-127-01  GASONICS  KIT, LAMP,FAIL 
143 A97-127-01  GASONICS  KIT, LAMP,FAIL 
144 B04444  GASONICS  QUARTZ BALL BLIND 
145 B10465  GASONICS  VALVE GATE QUARTZFIT 
146 B12139  GASONICS  TRANSDUCER QUARTZ 
147 CH016-005  GASONICS  RETAINER WAFER (SET-LEFT & RIGHT) 
148 FPS-440  GASONICS  CYLINDER, PNCK 
149 FPS-702  GASONICS  PANCAKE CYLINDER 
150 K294A  GASONICS  VACUUM PUMP,PM KIT 
151 KB670A  GASONICS  KEYBOARD, SMAL 
152 RA93-021-04/C  GASONICS  WAVE GUIDE ASSY