ALU CORPORATION

ランプ

半導体製造装置用から光学機器用までさまざまな用途に使用されるランプ

ランプの種類 ランプの主な用途
水銀ランプ 露光、印刷、理科学機器光源
キノセン・ランプ 露光、レーザー励起、理科学機器光源
クリプトン・ランプ レーザー励起
ハロゲン・ランプ アニーリング、エピタキシャル成長、照明
メタルハライド・ランプ 投影、照明


YAGレーザー励起用ランプ フォトレジスト露光用ランプ|PDF