ALU CORPORATION

サービス

前工程から後工程まで

純正部品からリバースエンジニアリング部品、修理から再生までトータルサービスを提供。

Refurbish

プラズマプロセス用電極の再生処理/表面処理/長寿命化サービス
酸化/拡散、フォトリソグラフィー、イオン打ち込み、アニーリング、アッシング、エピタキシャル成長、PVD/CVD/MOCVD、スパッタリング、エッチングなどの前工程各種プロセス装置用部材、レーザー

Repair

各種ユニットのメンテナンスサービス
ALU株式会社では、米国Gilbert Technical Services社との提携により、ワールドワイドに、現在稼動している150社以上の半導体/液晶製造装置の各種ユニットの設計及びメンテナンスサービスを行っています。

修理項目
電気系修理項目 機械系修理項目

コンピューターボード
コントローラPCBボード
パワーサプライ
モータPCBボード
計測器の校正
レーザー
(He-Ne, Ar, UV, エキシマ, YAG, DPY, etc)
RFジェネレータ マッチングボックス
各種温調器(チラー)

ディスペンス・ポンプ
スピン・モータ
ゲート・バルブ
スロットル・バルブ
アングル・バルブ
ディスペンス・チャンバー
インデクサー
トランスポート・アッセンブリー
マスフローコントローラー
アクチュエーター
ロボット

Inspection

国内ユーザのニーズにマッチングした輸入製品を供給するために受入/出荷検査体制の充実を図っております。
LCRブリッジ/マルチメータ/オシロスコープ/パワーサプライ/ハイトゲージ/パワーメータ/表面粗さ計/膜圧計/ピンゲージ