半導体/液晶製造装置の
各種ユニットのメンテナンスサービス
アル株式会社では、米国Gilbert Technical Services社との提携により、ワールドワイドに、現在稼働している150社以上の半導体/液晶製造装置の各種ユニットの設計及びメンテナンスサービスを行っています。
納期・品質保証に関しては柔軟性のある対応をさせて頂きます。
修理項目
(1) 電気系修理項目
コンピュータボード、コントローラーPCBサポート、パワーサプライ、モータPCBボード、計測器の校正、レーザー(He-Ne,Ar,UV,エキシマ、YAG,DPY,etc)、RFジェネレーター、マッチングボックス、各種温調器(チラー)
(2) 機械系修理項目
ディスペンス・ポンプ、スピン・モータ、ゲート・バルブ、スロットル・バルブ、アングル・バルブ、ディスペンス・チャンバー、インデクサー、トランスポート・アッセンブリー、マスフローコントローラー、アクチュエーター、ロボット
エレクトロニクス製品の修理
半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能
★コントローラPCBボード修理
★モーターPCBボード修理
★真空装置の制御修理
★パワーサプライ(電源)修理
★コンピュータボード修理
★各種レーザ装置修理
装置名 装置メーカー
★ステッパー(フォトリン)装置
CANON、NIKON、ASML、GCA、SVG、Ultratech、PERKIN ELMER
★イオン注入装置
住友イートンノバ、VARIAN、日新電機、GENUS、APPLIED MATERIALS
★スパッター装置
APPLIED MATERIALS、VARIAN、ANELVA、MRC
★CVD装置
APPLIED MATERIALS、GENUS、ASM、Novellus、ETE
★エッチング装置
APPLID MATERIALS、LAM RESEARCH、TEL、TEGAL、ANELVA、日立
★メモリーリペアー装置
NIKON、ADVANTEST、GCS
★テスター装置
TELEDYNE、HP、LTX
★ボンディング装置
新川電機、K&S、KAIJO
★CMP装置
NOVELLUS、ONTRAK、STRASBAUGH
★洗浄装置
SEMITOOL、FSI、大日本スクリーン
★検査装置
KLA、GSI、NANOMETRICS、ADE、LTX、PROMETRIX、RUDLUGH
★UVキュア装置
AXCELIS、ウシオ電機