ロータリーシールユニット
高真空 / 高圧
アル株式会社はこの度SEALINK社と業務提携いたしました。
この業務提携により真空及び圧力回転シーリングの開発及び製造を更に強化することができるようになりました。
これまでの密閉装置(機械方式、磁性流体方式)に比べて、はるかに優れた柔軟性、多様性を誇れる製品となりました。
半導体装置、LCD、石油化学、精密化学、その他幅広い産業分野においてその需要が大いに期待されます。
SEALINK社では全製品を厳しい品質管理のもとで製造しておりますので、最高水準の製品をお客様に提供することをお約束いたします。また、製品の修理、再生、開発、そしてお客様のご要望に応じたカスタマイズ製品(OEM、ODM)をお届けすることも可能です。
適用分野
半導体装置、LCD及びOLED装置
CVD、MOCVD、LPCVD、PECVD、PCD、ALD、CMP、OLED、LCD装置、FD装置、ウエハー関連装置、真空蒸着装置、イオン注入装置、エッチング装置、アッシング装置、ウエハー加工機、洗浄装置、RPP、スパッタ、照明装置、オートクレーブ、ウエハーロボット等。
石油化学、精密化学、海洋、鉄鋼及び一般産業機械分野
石油化学のミキサー、撹拌機、原子炉容器、反応機、混合槽、結晶槽、乾燥機、溶解槽など。
鉄鋼産業の圧延、熱延ライン、コイルプロセシング装備、重装備産業の掘削機、ドリル装備、ショベルカー、船舶のスタンチューブ 等
密閉装置の比較
密閉タイプ |
機械方式 |
磁性流体方式 |
シールリンク方式 |
|---|---|---|---|
関連理論 |
面接触 |
磁性流体 |
非線形接触 |
真空 |
× |
〇 |
〇 |
圧力 |
〇 |
× |
〇 |
ガス |
× |
〇 |
〇 |
液体 |
〇 |
× |
〇 |
潤滑油 |
必要 |
不必要 |
不必要 |