ウエハプロセス装置用
互換・スペア部品/材料
・He-Neレーザー ・YAGレーザー
・アルゴンレーザー ・UVレーザー
・エキシマレーザー ・真空ゲージ
・真空スイッチ ・パワーサプライ
・RFジェネレーター ・電源(パワーサプライ)
・トラップ(モレキュラー、ステンレスシール、メッシュ、Cuメッシュ)
・ベアリング ・拡散ポンプ
・クライオポンプ ・ターボポンプ
・フィッティングバルブ ・スロットルバルブ
・インチネジ ・ACモーター
・DCモータ ・サーボモーター
・イオン交換樹脂 ・イオンゲージ
・Oリング
