ウエハプロセス装置用
互換・スペア部品/材料

・He-Neレーザー　・YAGレーザー
・アルゴンレーザー　・UVレーザー
・エキシマレーザー　・真空ゲージ
・真空スイッチ　・パワーサプライ
・RFジェネレーター　・電源(パワーサプライ)
・トラップ(モレキュラー、ステンレスシール、メッシュ、Cuメッシュ)
・ベアリング　・拡散ポンプ
・クライオポンプ　・ターボポンプ
・フィッティングバルブ　・スロットルバルブ
・インチネジ　・ACモーター
・DCモータ　・サーボモーター
・イオン交換樹脂　・イオンゲージ
・Oリング