プラズマプロセス用電極の再生処理 / 表面処理 / 長寿命化サービス
酸化 / 拡散、フォトリソグラフィー、イオン打ち込み、アニーリング、アッシング、エピタキシャル成長、PVD / CVD / MOCVD、スパッタリング、エッチングなどの前行程各種プロセス装置用部材、レーザーの再生
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