アル株式会社
☰

半導体/液晶製造装置の
各種ユニットのメンテナンスサービス

アル株式会社では、米国Gilbert Technical Services社との提携により、ワールドワイドに、現在稼働している150社以上の半導体/液晶製造装置の各種ユニットの設計及びメンテナンスサービスを行っています。

納期・品質保証に関しては柔軟性のある対応をさせて頂きます。
修理項目
(1) 電気系修理項目
コンピュータボード、コントローラーPCBサポート、パワーサプライ、モータPCBボード、計測器の校正、レーザー(He-Ne,Ar,UV,エキシマ、YAG,DPY,etc)、RFジェネレーター、マッチングボックス、各種温調器(チラー)


(2) 機械系修理項目
ディスペンス・ポンプ、スピン・モータ、ゲート・バルブ、スロットル・バルブ、アングル・バルブ、ディスペンス・チャンバー、インデクサー、トランスポート・アッセンブリー、マスフローコントローラー、アクチュエーター、ロボット

エレクトロニクス製品の修理

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能

★コントローラPCBボード修理
★モーターPCBボード修理
★真空装置の制御修理
★パワーサプライ(電源)修理
★コンピュータボード修理
★各種レーザ装置修理

装置名　装置メーカー

★ステッパー(フォトリン)装置 CANON、NIKON、ASML、GCA、SVG、Ultratech、PERKIN ELMER
★イオン注入装置 住友イートンノバ、VARIAN、日新電機、GENUS、APPLIED MATERIALS
★スパッター装置 APPLIED MATERIALS、VARIAN、ANELVA、MRC
★CVD装置 APPLIED MATERIALS、GENUS、ASM、Novellus、ETE
★エッチング装置 APPLID MATERIALS、LAM RESEARCH、TEL、TEGAL、ANELVA、日立
★メモリーリペアー装置 NIKON、ADVANTEST、GCS
★テスター装置 TELEDYNE、HP、LTX
★ボンディング装置 新川電機、K&S、KAIJO
★CMP装置 NOVELLUS、ONTRAK、STRASBAUGH
★洗浄装置 SEMITOOL、FSI、大日本スクリーン
★検査装置 KLA、GSI、NANOMETRICS、ADE、LTX、PROMETRIX、RUDLUGH
★UVキュア装置 AXCELIS、ウシオ電機

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

info@alu-c.co.jp

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736