CIPソリューション

アル株式会社ではグループ会社を通じて半導体会社に最先端技術を提供しています。
AMAT / LAM(NOVELLUS) / TEL / SCREEN / ASM / ラムリサーチ / KLA / テンコールなどのCVD、PVD、エッチャー、チャンバーおよびその他周辺機器のCIP(Continuous Improvement Processes)専用の革新的なソリューションをお客様に提案しています。

CIPソリューションの特徴

現在のプロセスで発生するほとんどの問題を
改良したOEMキットを使用することで解決できるようになりました。

・キットや部品の長寿命化
・キットによる欠陥の低減
・機械の稼働率向上
・パーティクルの低減
・トータルコスト削減
・PMサイクルの減少

MOCVDチャンバー3つのソリューション

1) プロセスキット (MOCVD TiN Aaxel Kit CIP)

パーティクルによる欠陥を低減し、アーキングを最小限に抑え、フィルムを均一にしてプロセスキット全体を向上させます。

2) ケミカルデリバリー (LFMコンボ)

TDMATの利用を改善。パーティクルの蓄積を低減することによってメンテナンスを減少させ、全体的にウェーハの生産性が改善します。

3) ペデスタルヒーター (ヒーターCIP)