アル株式会社
☰

KLA-Tencor ADE Metrology
装置でお困りの皆様へ

アル株式会社は業務拡大に伴い、米国TEKSOLI社と業務提携しました。
TELSOLI社はお客さまのニーズに合わせ、高価なKLA-Tencor/ADE機器の修理、品質保証、デリバリーなど様々な長期サポートサービスを、経験豊富なスタッフを通して提供しております。
KLA-Tencor ADE Metrology
スペアパーツの供給
-KLA-Tencor/ADE装置の多種多様な新規部品・再生品などの提供が可能です。
保守・トレーニング
当社の専門スタッフは、下記の分野で総合的な技術トレーニングを提供しております。
・機器サービス
・診断・障害の発見、トラブルシューティング
・予防・メンテナンス
・レーザ交換など
ほかにも、特定のモジュール形式のトレーニングコースも提供可能です。
修理・テクニカルサポート
安心・安全なサポートを目指しております。システム診断やトラブルシューティング、修理・システムの拡張などのテクニカルサポートとOEM製造で10年以上の経験があり、多くのお客さまから高い評価を頂いております。

サポート対象装置

・SP1 Family : SP1-TBI、SP1-DLS、SP1 classic、SP1 EHII
・SP2 Family : SP2、SP2 EHII、SP2-XP
・Thin Film Measurement : UV1050、UV1080、UV1250、UV1280、F5X
・Surface Profilometer : Alphastep 500 P2、P11、P15、P20、P22、HRP320
・SurfScan Wafer Inspection Systems : 4500、5000、5500、6XXX
・Prometrix Resistivity RS35、RS35A、RS75、RS100
・Tencor High resolution profiler HRP Series 200、240、300、340
・Tencor Stress measurement FLX series 2300、2320、5400
・KLA Defect Inspection AIT I、AIT II、AIT III、AIT XP、AITXP+、AIT UV
・KLA Defect Inspection 21XX
・UltraGafe : ADE9500

お気軽にご相談ください。

弊社は、半導体業界の進化に伴い、非常に競争力のある価格を実現します。
オリジナルメーカーと同様の高水準なサービスと専門知識を提供することが出来ます。

KLA-Tencer/ADE装置関連でお困りであれば、ぜひ弊社までご相談ください。

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

info@alu-c.co.jp

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736